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ASML展现首款先进封装大视场光刻机

来源:杏彩体育官网登录注册入口

产品时间:2025-11-08 13:52:10

简要描述:

在第八届进博会上,半导体设备供货商ASML展现其部分全景光刻产品与技能。其间

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ASML展现首款先进封装大视场光刻机

  在第八届进博会上,半导体设备供货商ASML展现其部分全景光刻产品与技能。其间,DUV光刻机包含TWINSCAN XT:260、TWINSCAN NXT:870B。记者得悉,TWINSCAN XT:260这款i-line光刻机是ASML首款可服务于先进封装范畴的光刻体系,具有大视场曝光,相较于现有机型可进步4倍出产功率;TWINSCAN NXT:870B在晋级的光学器材和最新一代磁悬浮渠道的支持下,可完成每小时晶圆产值(wph)400片以上。(科创板日报)


 


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